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气浮单轴运动平台

重复定位精度±100nm

直线度、行走平面度±1um

高动态响应特性

低静态抖动

快速整定

支持非标定制

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|  产品详情

行程

300mm

分辨率

20nm

绝对定位精度

±300nm

重复定位精度

±100nm

速度

1m/s

加速度

1G

位置稳定性

±20nm

行走平面度

±1um

直线度

±1um

Pitch

±2arcsec

Yaw

±2arcsec

Roll

±2arcsec
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